快速退火爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。

　　快速退火爐維修注意事項(xiàng)：

　　1.快速退火爐*使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。

　　2.爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。

　　3.冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升

　　溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。

　　4.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。

　　5.快速退火爐使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。

　　6.快速退火爐在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。

　　7.快速退火爐適用于下列工作條件：

　　（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。

　?。?）周?chē)h(huán)境的相對(duì)濕度不超過(guò)85%。

　?。?）快速退火爐周?chē)鷽](méi)有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。

　?。?）沒(méi)有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。

　　以上便是今天關(guān)于快速退火爐需要定期的維護(hù)保證其能夠正常的操作的全部分享了，希望對(duì)大家今后使用本設(shè)備能有幫助。